"반도체 장비의 다양한 작동 환경에 대한 초정밀 부품 소재의 신뢰성 및 내구성 향상을 위한 표면 설계 기술 개발" (2025.03 ~ 2028.02)
"고효율 기계부품을 위한 적층 기반의 다물질 기능성 나노코팅 기술 개발" (2020.03 ~ 2025.02)
"박막 증착 Large Batch Type CVD Boat 로터리 유닛 개발" (2024.10 ~ 2026.09)
"반도체 웨이퍼 가압 Cure 200˚C용 PCO Axis 개발" (2024.08 ~ 2025.07)
"폴리머 및 나노 세라믹 소재의 적용을 통한 다기능 3D 프린팅 스캐폴드 개발" (2023.11 ~ 2025.12)
"반도체 박막 공정 장비용 하이브리드 코팅기술을 적용한 고진공, 고온용 로터리 피드쓰루 개발" (2021.12 ~ 2024.11)
"마찰 및 마모 저감을 위한 적응형 나노 탄소 시스템 개발" (2020.01 ~ 2021.12)
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